Development of Droplet-Free Plasma Source for Copper Metal Ion Process
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- NAKAMURA Keiji
- Chubu University
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- IKEZAWA Shunjiro
- Chubu University
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- SASAKI Koichi
- Nagoya University
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- YOSHIDA Tatsuhiko
- Anelva
Bibliographic Information
- Other Title
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- 銅イオンプロセス用ドロップレットフリープラズマ源の開発
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Journal
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- 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会
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電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003 (239), 35-40, 2003-12-12
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1570854175415911424
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- NII Article ID
- 10018984203
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- NII Book ID
- AN10320559
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles