半導体開放スイッチを用いた誘導性パルスパワー電源によるエキシマレーザの発振 Excimer Laser Oscillation using Inductive Pulsed Power Generator with Semiconductor Opening Switch

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会  

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003(122), 5-10, 2003-10-06 

参考文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018985119
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10320559
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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