磁気駆動を用いたシャンティングアークプラズマ成膜の速度改善

• 高木 浩一

  岩手大

• 長谷川 隆治

  岩手大

• 向川 政治

  岩手大

• 中村 諭

  岩手大

• 藤原 民也

  岩手大

• 熊谷 基也

  同志社大

• 行村 建

  同志社大

書誌事項

タイトル別名

• Inprovement of deposition rate by magnetic drive of shunting arc plasma

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003 (122), 23-28, 2003-10-06

キーワード

• アーク放電
• シャンティングアーク
• アモルファスカーボン
• DLC
• 磁気駆動

詳細情報

• CRID: 1570291225462118400
• NII論文ID: 10018985154
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles