放電プラズマによるフルオロカーボン分解過程における副生成物の発生特性 Characteristics of the byproducts in CF_4 decomposition process by high frequency plasma

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会  

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003(122), 37-40, 2003-10-06 

参考文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018985177
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10320559
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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