Characteristics of the byproducts in CF_4 decomposition process by high frequency plasma
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- KAI Tomoyuki
- Saga University
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- HAYASHI Nobuya
- Saga University
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- IHARA Satoshi
- Saga University
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- SATOH Saburoh
- Saga University
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- YAMABE Choubei
- Saga University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 放電プラズマによるフルオロカーボン分解過程における副生成物の発生特性
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Journal
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- 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会
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電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003 (122), 37-40, 2003-10-06
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Details
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- CRID
- 1573105975229223168
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- NII Article ID
- 10018985177
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- NII Book ID
- AN10320559
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles