磁気駆動型シャンティングアークをもちいたアモルファスカーボン成膜
書誌事項
- タイトル別名
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- Amorphous Carbon Film Preparation Using Magnetically Driven Shunting Arc Generation
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会
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電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003 (107), 31-36, 2003-08-05
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1574231875136084224
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- NII論文ID
- 10018985514
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- NII書誌ID
- AN10320559
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles