誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成 Preparation of ZrO_2 Thin Film Using Inductively Coupled Plasma Sputtering

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  • 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003(107), 37-41, 2003-08-05

参考文献:  14件中 1-14件 を表示

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被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018985515
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10320559
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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