Preparation of ZrO_2 Thin Film Using Inductively Coupled Plasma Sputtering
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- OHTSU Yasunori
- Saga University
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- EGAMI Masato
- Saga University
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- MISAWA Tatsuya
- Saga University
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- FUJITA Hiroharu
- Saga University
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- YUKIMURA Ken
- Doshisha University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成
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Journal
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- 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会
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電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003 (107), 37-41, 2003-08-05
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Keywords
Details
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- CRID
- 1573105975229242368
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- NII Article ID
- 10018985515
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- NII Book ID
- AN10320559
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles