圧力30-130kPaにおける各種ガス混合パルス変調誘導熱プラズマの安定維持範囲および過渡応答

• 飛弾 繁夫

  金沢大学

• 田中 康規

  金沢大学

• 作田 忠裕

  金沢大学

書誌事項

タイトル別名

• Stable Operation Region and Dynamic Behavior of Pulse-Modulated Induction Thermal Plasma with Molecular Gases at Pressure of 30-130kPa

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003 (1), 57-62, 2003-01-22

キーワード

• 誘導熱プラズマ
• パルス変調
• 過渡応答特性時間
• Arスペクトル
• 圧力

詳細情報

• CRID: 1573387450206504448
• NII論文ID: 10018986555
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles