無声放電による酸化性ガス発生と酸化薄膜形成への応用 : 酸素、オゾン、酸素原子の比較

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タイトル別名
  • Silent Discharge Type Atomic Oxygen Generator and Application to Formation of Thin Films : comparision of oxygen, ozone and atomic oxygen

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詳細情報

  • CRID
    1570009750485894912
  • NII論文ID
    10018987037
  • NII書誌ID
    AN10320559
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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