無声放電による酸化性ガス発生と酸化薄膜形成への応用 : 酸素、オゾン、酸素原子の比較
書誌事項
- タイトル別名
-
- Silent Discharge Type Atomic Oxygen Generator and Application to Formation of Thin Films : comparision of oxygen, ozone and atomic oxygen
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会
-
電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2001 (263), 7-10, 2001-12-11
- Tweet
詳細情報
-
- CRID
- 1570009750485894912
-
- NII論文ID
- 10018987037
-
- NII書誌ID
- AN10320559
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- CiNii Articles