プラズマ・イオンプロセスの流れと将来動向

• 木内 正人

  産業技術総合研究所 光技術研究部門

書誌事項

タイトル別名

• Characteristics and Trends of Plasma and Ion Processes

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2001 (252), 23-24, 2001-12-10

キーワード

• プラズマ
• イオン
• プロセス
• 表面反応
• 電荷
• 運動量

詳細情報

• CRID: 1570291225462217472
• NII論文ID: 10018987201
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles