Morphology of the TiN Film by the Plasma-Based Ion Implantation and Deposition Method with Titanium Cathodic-Arc

• SAITO Hidenori

  Kanagawa High-Technology Foundation

• KUMAGAI Masao

  Kanagawa Industrial Technology Research Institute

• YUKIMURA Ken

  Doshisha University

• MA Xinxin

  Doshisha University

• KUZE Eiji

  Doshisha University

• MARUYAMA Toshiro

  Kyoto University

• KOHATA Mamoru

  Toshiba Tungaloy Co., LTD

Bibliographic Information

Other Title

• チタン陰極アークを使用したプラズマイオン注入・堆積法によるTiN薄膜のモホロジー

Journal

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2001 (252), 35-39, 2001-12-10

Keywords

• PBII-D
• Titanium Cathodic-Arc
• Droplet

Details

• CRID: 1573950400159458176
• NII Article ID: 10018987222
• NII Book ID: AN10320559
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles