金属プラズマを用いたPBII&Dにおけるイオンの効果 Effects of ion on Structural Properties of Titanium Nitride (TiN) Thin Films Prepared by PBII Hybrid System using Metal Plasma

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著者

収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会  

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2001(252), 41-46, 2001-12-10 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018987223
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10320559
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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