Optimization of field emitter array fabricated using beam assisted process

• 村上 勝久

  大阪大学大学院 基礎工学研究科

• 山崎 直紀

  大阪大学大学院 基礎工学研究科

• JARUPOONPHOL Werapong

  大阪大学大学院 基礎工学研究科

• 竪 勇也

  大阪大学大学院 基礎工学研究科

• 高井 幹夫

  大阪大学 極限科学研究センター

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会

  電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会 2003 (89), 11-14, 2003-12-12

キーワード

• FEA (Field Emitter Array)
• 集束イオンビーム (FIB : Focused Ion Beam)
• 電子ビーム誘起堆積

詳細情報

• CRID: 1573950400159345792
• NII論文ID: 10018989379
• NII書誌ID: AN1044178X
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • CiNii Articles