直接接触型GCPW MEMSスイッチ

• 宮口 賢一

  三菱電機株式会社情報技術総合研究所

• 吉田 幸久

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 西野 有

  三菱電機株式会社情報技術総合研究所

• 半谷 政毅

  三菱電機株式会社情報技術総合研究所

• 檜枝 護重

  三菱電機株式会社情報技術総合研究所

• 宮崎 守泰

  三菱電機株式会社情報技術総合研究所

• 高木 直

  三菱電機株式会社情報技術総合研究所

• 石田 修己

  三菱電機株式会社情報技術総合研究所

書誌事項

タイトル別名

• A Metal-Contact Type Grounded Co-Planar Waveguide MEMS Switch

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会

  電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会 2003 (79), 29-33, 2003-11-18

キーワード

• Microelectromechanical System
• MEMS
• スイッチ
• GCPW

詳細情報

• CRID: 1570854175415575168
• NII論文ID: 10018989540
• NII書誌ID: AN1044178X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles