Development of Atmospheric Pressure Metal Organic Vapor Phase Epitaxy Technology for GaN and Related Alloys

• MATSUMOTO Koh

  NIPPON SANSO Corp.

• AKUTSU Nakao

  NIPPON SANSO Corp.

• UBUKATA Akinori

  NIPPON SANSO Corp.

• TOKUNAGA Hiroki

  NIPPON SANSO Corp.

• 山口 晃

  日本酸素

• EGAWA Takashi

  Nagoya Institute of Technology

• TACHIBANA Akitomo

  Kyoto University

Bibliographic Information

Other Title

• 大気圧成長GaN系MOVPE成長技術の開発

Journal

• 電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会

  電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会 2003 (32), 63-67, 2003-03-06

Keywords

• Atmospheric pressure growth
• MOVPE
• MOCVD
• GaN
• AlGaN

Details

• CRID: 1571698600345703936
• NII Article ID: 10018989977
• NII Book ID: AN1044178X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles