高周波マグネトロンスパッタリングによる遷移金属窒化物・炭化物薄膜の作製と冷陰極材料としての評価

• 後藤 康仁

• 紀和 伸政

• 中原 宏勲

Bibliographic Information

Other Title

• コウシュウハ マグネトロンスパッタリング ニ ヨル センイ キンゾク チッカブツ タンカブツ ハクマク ノ サクセイ ト レイインキョク ザイリョウ ト シテ ノ ヒョウカ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101 (501), 45-50, 2001-12-14

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• Transition metal
• Nitride
• Carbide
• Cold cathode
• Radio-frequency magnetron sputtering

Details

• CRID: 1520853834038538496
• NII Article ID: 110003201481
• NII Article ID: 10018991065
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 6043646
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6043646
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles