ビーム支援プロセスによる電界放出電子源の作製と特性 Prototyping of Field Emitter Array Using Focused Ion and Electron Beams

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著者

    • JARUPOONPHOL Werapong
    • 大阪大学 極限科学研究センター Research Center for Materials Science at Extreme Conditions and Graduate School of Engineering Science, Osaka University
    • 澤田 明宏 SAWADA Akihiro
    • 大阪大学 極限科学研究センター Research Center for Materials Science at Extreme Conditions and Graduate School of Engineering Science, Osaka University
    • 高井 幹夫 TAKAI Mikio
    • 大阪大学 極限科学研究センター Research Center for Materials Science at Extreme Conditions and Graduate School of Engineering Science, Osaka University

収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会  

    電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会 2001(140), 57-62, 2001-12-14 

参考文献:  3件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018991088
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1044178X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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