ウェーハ検査における欠陥画像の解析 : LBGクラスタリングを用いた未知クラスを含む分類手法

• 小竹 正裕

  慶應義塾大学

• 小沢 慎治

  慶應義塾大学

• 福西 宗憲

  日立製作所

• 広井 高志

  日立製作所

書誌事項

タイトル別名

• Analysis of defective image in wafer inspection : The classification technique containing the unknown class using LBG clustering

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. IP, 情報処理研究会

  電気学会研究会資料. IP, 情報処理研究会 2003 (1), 31-35, 2003-02-22

キーワード

• ウェーハ
• 欠陥画像
• 分類
• 解析

詳細情報

• CRID: 1573950400132795904
• NII論文ID: 10018992664
• NII書誌ID: AN10442589
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles