プラズマ発生用ゼロ電圧ソフトスイッチングRFインバータシステム
書誌事項
- タイトル別名
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- Zero-Voltage Soft-switching RF Inverter System for Plasma Generation
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. SPC, 半導体電力変換研究会
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電気学会研究会資料. SPC, 半導体電力変換研究会 1997 (54), 59-64, 1997-06-13
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571698600401933056
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- NII論文ID
- 10019026341
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- NII書誌ID
- AN00346647
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles