ステンレス鋼へのプラズマイオン注入の基板温度依存性

• 清水 高志

  姫路工大工

• 吉高 豊

  姫路工大工

• 原 義仁

  姫路工大工

• 東 欣吾

  姫路工大工

• 藤原 閲夫

  姫路工大工

• 八束 充保

  姫路工大工

• 岡本 善四郎

  兵工技センター

書誌事項

タイトル別名

• Effect of Target Temperature on Nitrogen Depth Profile in Stainless Steel in Plasma-Based Ion Implantation

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2000 (54), 19-24, 2000-08-23

キーワード

• プラズマイオン注入法
• オーステナイト系ステンレス
• 基板温度
• 熱拡散
• 窒化クロム

詳細情報

• CRID: 1572824500309043456
• NII論文ID: 10019029403
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles