PBII法によるアルミニウム材料への窒素イオン注入

• 原 義仁

  姫路工大工

• 山西 哲司

  姫路工大工

• 東 欣吾

  姫路工大工

• 藤原 閲夫

  姫路工大工

• 八束 充保

  姫路工大工

書誌事項

タイトル別名

• The Nitrogen Ion Implantation in Aluminum Materials by Plasma-Based Ion Implantation

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2000 (54), 69-74, 2000-08-23

キーワード

• プラズマイオン注入法
• AlN
• 耐磨耗性
• 摩擦係数
• 耐酸化性

詳細情報

• CRID: 1573668925239174016
• NII論文ID: 10019029485
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles