RFプラズマから基板に入るフラックスへのガードリング効果

• 古関 代司

  岩手大

• 中谷 和生

  岩手大

• 高橋 淳

  岩手大

• 高木 浩一

  岩手大

• 藤原 民也

  岩手大

• 佐藤 信安

  岩手大

• 永田 雅克

  (株)フジクラ

• 小野 幹幸

  (株)フジクラ

書誌事項

タイトル別名

• Guard Ring Effect for Flux into Substrate from RF Plasma

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 1999 (1), 25-30, 1999-03-12

キーワード

• プラズマプロセス
• RF放電
• 基板温度
• 熱流束
• イオンフラックス
• ガードリング

詳細情報

• CRID: 1574231875192702080
• NII論文ID: 10019029980
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles