水晶ドライエッチング (Deep RIE) によるワンチップマルチチャンネルQCMとマイクロQCMの製作

• 安部 隆

  東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー

• 江刺 正喜

  東北大学未来科学技術共同研究センター

書誌事項

タイトル別名

• One-chip multi-channel QCM fabricated by Deep RIE

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. CS, 化学センサシステム研究会

  電気学会研究会資料. CS, 化学センサシステム研究会 1999 (28), 57-62, 1999-09-13

キーワード

• 深い反応性イオンエッチング
• 誘導結合プラズマ
• ATカット水晶
• ワンチップマルチャンネルQCM
• マイクロQCM
• 匂いセンサ

詳細情報

• CRID: 1573668925285994880
• NII論文ID: 10019058055
• NII書誌ID: AA11356888
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles