Fringe Scanning Interferometric Imaging of Ultrasonic Motor Using Stroboscopic Method

• NAKANO Ken

  Nagoya University

• NISHIZAWA Goro

  Nagoya University

• OKUMA Shigeru

  Nagoya University

• HANE Kazuhiro

  Tohoku University

• EGUCHI Tadashi

  Canon Inc.

Bibliographic Information

Other Title

• ストロボ法を用いた超音波モータ表面の縞走査干渉画像計測

Journal

• 電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会

  電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会 1996 (11), 73-82, 1996-11-11

Keywords

• Ultrasonic Motor
• Interferometer
• Stroboscopic Method
• Fringe Scanning Method

Details

• CRID: 1573387450280119680
• NII Article ID: 10019123873
• NII Book ID: AA11357111
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles