球面モータの、基板検査装置への応用可能性の検討

• 矢野 智昭

  産総研

• 鈴木 健生

  (株)安川電機

書誌事項

タイトル別名

• Research and Development of the Possibility for Applying a Spherical Motor to a Wafer Inspection System

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. LD, リニアドライブ研究会

  電気学会研究会資料. LD, リニアドライブ研究会 2007 (32), 1-6, 2007-10-25

キーワード

• 多自由度モータ
• 球面モータ
• システム化技術
• 基板検査装置

詳細情報

• CRID: 1571980075407695232
• NII論文ID: 10019760045
• NII書誌ID: AN10074612
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles