衝撃電界電子加速によるCF_4分子、CF_xラジカル分解の効率

• 荒木田 大嗣

  北海道大学

• 江口 礼良

  北海道大学

• 森 直樹

  北海道大学

• 菅原 広剛

  北海道大学

• 酒井 洋輔

  北海道大学

• 須田 善行

  北海道大学

書誌事項

タイトル別名

• Efficiency of CF_4 molecule and CF_x radical decomposition by impulse-field electron acceleration

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2007 (42), 33-36, 2007-09-13

キーワード

• 四フッ化炭素
• 衝撃電界
• 非平衡プラズマ
• 電子加速
• エネルギー効率

詳細情報

• CRID: 1573950400244675200
• NII論文ID: 10019761428
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles
  • KAKEN