C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜生成とその特性の評価

• 小池 広恵

  北海道大学

• 菅原 広剛

  北海道大学

• 酒井 洋輔

  北海道大学

• 須田 善行

  北海道大学

• 山内 達也

  北海道大学

書誌事項

タイトル別名

• a-C:F Films Deposition by C_8F_<18> Plasma CVD and Measurement of Their Properties

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2007 (42), 65-70, 2007-09-13

キーワード

• パーフルオロカーボン
• フッ化炭素膜
• プラズマCVD
• a-C:F
• FT-IT
• XPS
• 化学気相堆積

詳細情報

• CRID: 1572543025361124992
• NII論文ID: 10019761487
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles
  • KAKEN