%A 幸坂, 扶佐夫
%A 梁, 金星
%A 松尾, 高博
%A 植田, 敏嗣
%T 水晶マイクロ加工による高感度傾斜角センサ
%J 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society
%0 Journal Article
%@ 13418939
%I 電気学会
%D 2007
%8 2007-10-01
%V 127
%N 10
%P 431-436
%U http://ci.nii.ac.jp/naid/10019957910/
%R 10.1541/ieejsmas.127.431