TY  - JOUR
AU  - 幸坂, 扶佐夫
AU  - 梁, 金星
AU  - 松尾, 高博
AU  - 植田, 敏嗣
TI  - 水晶マイクロ加工による高感度傾斜角センサ
T2  - 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society
SN  - 13418939
PY  - 2007
DA  - 2007/10/01
VL  - 127
IS  - 10
SP  - 431-436
UR  - http://ci.nii.ac.jp/naid/10019957910/
DO  - 10.1541/ieejsmas.127.431
ER  -