著者名 論文名 雑誌名 ISSN 出版者名 出版日付 巻 号 ページ URL URL(DOI) 幸坂 扶佐夫,梁 金星,松尾 高博,植田 敏嗣 水晶マイクロ加工による高感度傾斜角センサ 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 13418939 電気学会 2007-10-01 127 10 431-436 http://ci.nii.ac.jp/naid/10019957910/ 10.1541/ieejsmas.127.431