Development of fast response and high sensitivity hydrogen gas sensor using laser ablation method

• KOHSAKA Daiki

  Saitama University

• HASEGAWA Yuki

  Saitama University

• KATSUBE Teruaki

  Saitama University

• MAEKAWA Hitoshi

  Saitama University

Bibliographic Information

Other Title

• レーザーアブレーション法を用いた高速高感度H_2ガスセンサの開発

Journal

• 電気学会研究会資料. CHS, ケミカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. CHS, ケミカルセンサ研究会 2007 (49), 17-20, 2007-11-22

Keywords

• Hydrogen gas sensor
• Oxide semiconductor
• Laser ablation
• Hetero-junction device
• SiC

Details

• CRID: 1572824500315849856
• NII Article ID: 10019975785
• NII Book ID: AA1146975X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles