ナノインプリント技術を使った微細構造作製 : ポリマーフィルム直接ナノプリントパタンのパタンサイズ縮小

• 横尾 篤

  NTT物性科学基礎研究所量子光物性研究部

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• 化学と工業 = Chemistry and chemical industry

  化学と工業 = Chemistry and chemical industry 61 (2), 127-128, 2008-02-01

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• CRID: 1572261550491814400
• NII Article ID: 10021082998
• NII Book ID: AN00037562
• ISSN: 00227684
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles