ナノインプリント技術を使った微細構造作製 : ポリマーフィルム直接ナノプリントパタンのパタンサイズ縮小

この論文をさがす

著者

    • 横尾 篤
    • NTT物性科学基礎研究所量子光物性研究部

収録刊行物

  • 化学と工業 = Chemistry and chemical industry  

    化学と工業 = Chemistry and chemical industry 61(2), 127-128, 2008-02-01 

参考文献:  9件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021082998
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037562
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    00227684
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ