半導体製造装置向け高純度炭化ケイ素製品の開発 Development of High Purity Silicon Carbide Product for Semiconductor Manufacturing Equipments

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収録刊行物

  • 化学と工業 = Chemistry and chemical industry  

    化学と工業 = Chemistry and chemical industry 61(3), 208, 2008-03-01 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021083044
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037562
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    00227684
  • データ提供元
    CJP書誌 
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