低フルエンスアブレーションを利用した高感度分光分析における放出原子特性 Diagnostics of Scattering Atoms for High Sensitive Spectroscopy Using Low-Fluence Laser Ablation

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著者

    • 中村 大輔 NAKAMURA Daisuke
    • 九州大学大学院 システム情報科学研究院 Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University
    • 高尾 隆之 TAKAO Takayuki
    • 九州大学大学院 システム情報科学研究院 Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University
    • 興 雄司 [他] OKI Yuji
    • 九州大学大学院 システム情報科学研究院 Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University

抄録

A low fluence UV laser ablation technique combined with Laser-Induced Fluorescence (LIF) spectroscopy is developed for an extreme trace element analysis of solid surface with a nanometer-scale depth resolution. Since the behavior of scattering atoms by the laser ablation was significant for improving the sensitivity of the analysis, the spatial distributions of the scattering atoms were investigated by a two dimensional imaging LIF spectroscopy method. Influences of a buffer gas and an assist mask on the atomic distributions were also investigated for enhancing the sensitivity of the analysis.

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 36(4), 206-210, 2008-04-15 

    The Laser Society of Japan

参考文献:  11件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021105674
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    9479036
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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