触媒基準エッチング法 Catalyst-referred etching

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著者

    • 原 英之 HARA Hideyuki
    • 大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University
    • 佐野 泰久 SANO Yasuhisa
    • 大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University
    • 有馬 健太 [他] ARIMA Kenta
    • 大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University
    • 山内 和人 YAMAUCHI Kazuto
    • 大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 77(2), 168-171, 2008-02-10

    応用物理学会

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

  • <no title>

    土肥俊郎

    諸説 半導体CMP技術, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    山内和人

    特開2006-114632

    被引用文献1件

  • <no title>

    HARA H.

    J. Electron. Mater. 35, L11, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    松波弘之

    半導体SiC技術と応用, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    KATO T.

    Mater. Sci. Forum. 556, 753, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    ARIMA K.

    Appl. Phys. Lett. 90, 202106, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    HARA H.

    Mater. Sci. Forum 556, 749, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKAMOTO T.

    Technical Digest of International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007, Otsu, Japan, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    MURATA J.

    Proceedings of 15th International Conference on Crystal Growth 789, (Salt Lake City, USA, 2007), 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    QIAN W.

    J. Electrochem. Soc. 142, 4290, 1995

    被引用文献2件

  • Chemomechanical Polishing of Silicon Carbide

    ZHOU L.

    J. Electrochem. Soc. 144, L161, 1997

    被引用文献7件

  • <no title>

    HALLIN C.

    J. Cryst. Growth 181, 241, 1997

    被引用文献2件

被引用文献:  2件中 1-2件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021108618
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    9370746
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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