革新的ナノデバイス実現のための中性粒子ビームプロセス Advanced neutral beam process for fabrication of novel nanodevice

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著者

    • 寒川 誠二 SAMUKAWA Seiji
    • 東北大学 流体科学研究所 知的ナノプロセス研究分野 Intelligent Nano-process Laboratory, Institute of Fluid Science, Tohoku University

収録刊行物

  • 應用物理  

    應用物理 77(3), 311-315, 2008-03-10 

    応用物理学会

参考文献:  16件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021108922
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    9406962
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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