低周波大気圧マイクロプラズマジェット

• 北野 勝久

  大阪大学大学院工学研究科 原子分子イオン制御理工学センター

• 浜口 智志

  大阪大学大学院工学研究科 原子分子イオン制御理工学センター

書誌事項

タイトル別名

• Atmospheric-pressure LF microplasma jets
• テイシュウハ タイキアツ マイクロプラズマ ジェット

抄録

大気圧下にて簡単に生成可能なLF（LowFrequency）マイクロプラズマジェットが，物理的にも応用面でも，注目されている．ヘリウムガス流束の近傍に低周波高電圧を印加した電極を設置するだけで，グロー放電のようなプラズマを，50μmから数十mm程度の大きさでさまざまな形状にて生成できる．高速度撮影によると，一見細長く伸びるジェットは，実は，10km/s程度の高速で移動する小さな発光体（プラズマ塊）である．すなわち，大気中へ射出されるヘリウムガス流束中の間欠的な部分放電である．このジェットを液体に照射することにより，液中プラズマプロセシングが安定して行えるなど，幅広い条件下でプロセス応用が可能である．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 77 (4), 383-389, 2008-04-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• atmospheric pressure glow discharge
• nonthermal plasma
• plasma jet
• DBD
• plasma chemistry
• micro plasma
• nano particle
• polymerization
• sterilization

詳細情報

• CRID: 1390845702289056256
• NII論文ID: 10021108982
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.77.4_383
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 9457748
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9457748
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN
  • Crossref
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可