近接場光を用いたナノ構造作製とデバイス応用

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  • 川添 忠
    東京大学工学系研究科 電子工学専攻

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タイトル別名
  • Fabrication of nanostructures using an optical near field and application to devices
  • キンセツバコウ オ モチイタ ナノ コウゾウ サクセイ ト デバイス オウヨウ

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抄録

<p>近接場光は，光源となるナノ構造体の素励起との結合によって空間的局在が許される振動電磁場である．この局在性は，数nmのきわめて高い空間分解能を光学測定装置に与えるだけでなく，ナノ寸法の光加工や光デバイス動作にも応用が可能である．光加工においてはファイバープローブに発生する近接場光を用いた光化学気相堆積法（光CVD）や，ナノ寸法のパターンを有するフォトマスクを使った光リソグラフィーによって，その応用が実現している．近接場光の素励起との結合は，単なる分解能の向上だけでなく，特有な光化学反応（非断熱近接場光化学反応）を起こすのでその実例を紹介する．デバイスへの応用では光の回折限界以下寸法で動作する集光装置の紹介を行う．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 77 (6), 662-667, 2008-06-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (22)*注記

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