微結晶シリコン薄膜の表面評価と成長モデル Growth kinetics of microcrystalline silicon thin films elucidated from fractal structures on growing surface

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  • 應用物理

    應用物理 77(7), 823-826, 2008-07-10

    応用物理学会

参考文献:  24件中 1-24件 を表示

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    岡本博明

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  • Lateral Size Evolution of Coalescent Grains on Microcrystalline Silicon Surface

    Toyama Toshihiko , Kitagawa Takafusa , Sobajima Yasushi , Okamoto Hiroaki

    Jpn J Appl Phys 46(8A), 5125-5127, 2007-08-15

    応用物理学会 被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021109472
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    9571287
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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