コロナ放電方式イオナイザーによる窒素雰囲気中のウェーハの帯電と除電

• 向川 政治

• 大久保 貴広

• 大谷 勝

Bibliographic Information

Other Title

• コロナ ホウデン ホウシキ イオナイザー ニ ヨル チッソ フンイキチュウ ノ ウェーハ ノ タイデン ト ジョデン
• Electrification and neutralization of wafers in nitrogen ambient using corona discharge ionizer

Journal

• 静電気学会誌 / 静電気学会 編

  静電気学会誌 / 静電気学会 編 32 (2), 84-89, 2008

  東京 : 静電気学会

Keywords

• 除電
• コロナ放電
• イオナイザー
• 除電時間

Details

• CRID: 1520572359516368256
• NII Article ID: 10021125217
• NII Book ID: AN00128613
• ISSN: 03862550
• NDL BIB ID: 9488740
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9488740
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN