MEMSデバイス : 実用化動向
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- 江刺 正喜
- 東北大学
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Journal
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- 電気学会誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan
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電気学会誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan 128 (6), 373-374, 2008-06-01
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1570572700632060928
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- NII Article ID
- 10021129210
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- NII Book ID
- AN10432927
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- ISSN
- 13405551
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles