プラズマ支援重合法による高分子光導波路の形成 Fabrication of an Optical Polymer Waveguide by Plasma Enhanced Polymerization

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

We have fabricated an optical polymer waveguide using plasma-enhanced polymerization. C<sub>6</sub>H<sub>6</sub> and C<sub>6</sub>H<sub>10</sub> are used as monomer materials for depositing core and cladding layer, respectively, because the refractive index of polymerized layers dominantly depend on the ratio of sp<sup>2</sup> and sp<sup>3</sup> bond in those. By decreasing rf power less than 0.04 W/cm<sup>2</sup> dangling-bonds formed in a polymer film will be suppressed, so that a relative low loss waveguide has been fabricated. We have measured propagation loss of those waveguides in end-fire method by using laser light at 787 nm wavelength. The losses are 3.2 cm<sup>-1</sup> for the samples plasma-polymerized in Ar.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society  

    電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 128(2), 75-80, 2008-02-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  10件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

被引用文献:  3件

被引用文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021129363
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10136312
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03854205
  • NDL 記事登録ID
    9361122
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-793
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
ページトップへ