集束プロトンビーム描画による微細加工と応用 Challenges in the Micromachining by Proton Beam Writing and its Applications

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抄録

Proton beam writing (PBW) is a direct writing technique for the fabrication of micro- and submicron-scale structures with high-aspect ratio. The straight trajectory of MeV protons incident to target materials allows high-aspect-ratio micromachining with high throughput, when compared with a conventional direct writing process using low-energy electron beam. The principles and superior features of the PBW technique are illustrated by demonstrating the micromachining by PBW on various resists. Application of the high-aspect-pillar structures by PBW is also demonstrated for electro-micro filters using dielectrophoresis.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society  

    電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 128(7), 461-466, 2008-07-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  20件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021130125
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10136312
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03854205
  • NDL 記事登録ID
    9564954
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-793
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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