シロキサン系薄膜の集束イオンビーム描画による微細加工

• 土屋龍太郎

収録刊行物

• 第55回応用物理学関係連合講演会, 2008

  第55回応用物理学関係連合講演会, 2008 2 750-, 2008

詳細情報

• CRID: 1574231875314429952
• NII論文ID: 10021130145
• データソース種別:
  • CiNii Articles