半導体レーザによる超薄板の微細接合

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タイトル別名
  • Ultra Thin Foil Welding with Direct Diode Laser
  • ハンドウタイ レーザ ニ ヨル チョウウスイタ ノ ビサイ セツゴウ

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抄録

High power direct diode laser systems have an excellent advantage of high conversion efficiency. They have another advantage of an elliptical beam shape. This characteristic makes good welding feature for thin foil welding. In this paper, advantage of elliptical shape beam of high power direct diode laser and its application to thin foil welding in the microelectronics or micromechanical parts manufacturing.

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