Development of an Electromagnetically Driven Optical MEMS Mirror with Functions of Z-Axis Vibration and X, Y Bi-Directional Tilting, and an Application to Low Coherent Optical Interferometer

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抄録

This paper presents development of an optical MEMS mirror device and an application to low coherence interferometry. This device can vibrate ±0.9μm along Z-axis under resonant frequency (5.24Vpp, 28.48kHz) for lock-in detection, and can tilt to X, Y bi-direction (Optical angle X:±10.6°/±10mA, Y:±5.2°/±10mA) for 2-D scanning and optical axis alignment by electromagnetic force between planar coils and a permanent magnet. In addition, developed MEMS mirror is embedded to a time-domain low coherent interferometer with a super luminescent diode (λc: 832nm, Δλ: 14.7nm) for optical axis alignment and lock-in detection, and the thickness and refractive index of a glass plate have been evaluated with low noise.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 128(3), 70-74, 2008-03-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  8件

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被引用文献:  11件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021135009
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    9400666
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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