Detection of Formaldehyde Using a Pt/γ-Al_2O_3-Based Adsorption/Combustion-Type Sensor

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抄録

An adsorption/combustion-type gas sensor employing Pt/γ-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> with low heat capacity was fabricated by MEMS process on a silicon substrate. The sensor was driven by pulse heating between 25°C and 200°C. The sensor showed a large response peak to formaldehyde due to its combustion upon pulse heating during a period of 0.4 s after room temperature adsorption for 20 s. The sensor detected formaldehyde of any concentration in the range of 40-400 ppb, and interference from high boiling point compounds was less important.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 128(4), 149-150, 2008-04-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  3件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021135151
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    13418939
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  J-STAGE 
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