FEM Analysis of Mechanical Characteristics of Nano Tweezers with MemsOne^<TM>

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抄録

In this study, we investigate improvements in silicon nanotweezers used to handle DNA molecules. We analyzed the deformation and frequency properties of the nanotweezers by finite element method (FEM) analysis. From this analysis, we determined the appropriate operation area of the nanotweezers.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society  

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 128(5), 252-256, 2008-05-01 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021135411
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1052634X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    13418939
  • NDL 記事登録ID
    9496253
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-B380
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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