非球面の直接修正加工に最適な走査型フイゾー球面干渉計

• 藤下 浩樹

Bibliographic Information

Other Title

• ヒキュウメン ノ チョクセツ シュウセイ カコウ ニ サイテキナ ソウサガタ フイゾー キュウメン カンショウケイ
• Scanning fizeau interferometry for providing metrology feedback to direct surface processing
• 特集 加工技術を支える非球面計測の最先端
• トクシュウ カコウ ギジュツ オ ササエル ヒキュウメン ケイソク ノ サイセンタン

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 52 (6), 318-321, 2008-06

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• spherical testing
• phase shift interferometry
• displacement interferometry
• axially symmetric
• aspheric equation
• vertex & zone
• R0 optimization
• surface departure
• ray-trace error
• surface processing

Details

• CRID: 1520853834423112064
• NII Article ID: 10021136732
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 9531780
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9531780
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles